用途： Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD
特點：
iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴苛制程
它優(yōu)良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優(yōu)越的轉子型線設計
漢鐘獨特型線設計，上海、臺灣製造
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積
優(yōu)化的尺寸，隨插即用
產(chǎn)品樣本和技術手冊
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產(chǎn)品外觀圖
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